实验结果分为三个部分。最重要的是用触针在不同纹理上得到的比较测量值以及较宽的粗糙度范围内的表面质量。此外，还对用于触针系统校准的粗糙度标准样品的光学粗糙度测量进行介绍，进而可以得到光学测量统计粗糙度和触针系统测量值及标准测量值的比较。对定性测定来说，光学传感器也用于扫描模式以得到三维的表面图像，这仅可能在实验室中进行。这个貌似合理的测量原理比统计分析值方法显得更好。

为了证明检测线的可行性，用该系统对片状表面进行了扫描，得到不同样品表面步长为0.5m的完整三维数据集。该数据集的一个样例如图5所示。横向分辨率是0.5m，轮廓高度分辨率约是0.1m，其小于用干涉系统获得的数据。